上海微系统所,|,氮化镓器件性能大幅接近理论极限

氮化镓电力电子器件目前的主流方案是硅基氮化镓,大幅降低了氮化镓器件的成本,加速了先进技术的落地和市场化。不过,硅基氮化镓电力电子器件的击穿电压较低、导通电阻较高,得到的品质因子距离氮化镓材料的理论极限非常遥远,而品质因子是电力电子器件的基础型核心指标之一,这就大幅限制了器件的性能。

氮化镓电力电子器件目前的主流方案是硅基氮化镓,大幅降低了氮化镓器件的成本,加速了先进技术的落地和市场化。不过,硅基氮化镓电力电子器件的击穿电压较低、导通电阻较高,得到的品质因子距离氮化镓材料的理论极限非常遥远,而品质因子是电力电子器件的基础型核心指标之一,这就大幅限制了器件的性能。

近期,论文《用于高效功率转换的多沟道纳米线器件》(Multi-channel nanowire devices for efficient power conversion)发表在Natural Electronics。实现1300V高击穿电压,导通电阻降低为1/5,品质因子提升4倍。

图:氮化镓高压多沟道器件概念

该技术解决了两个电子器件中基础性、原理性的挑战。第一,怎么降低器件的电阻,但又不损失电子的迁移率。第二,如何在低电阻的情况下实现高击穿电压。

从材料结构方面,使用了多沟道结构,取代传统的单沟道结构,大幅降低了器件的电阻,但不损失迁移率。研究者通过材料结构的设计和外延工艺的提升,在 100-200 纳米的多沟道内,堆叠了 4 至 5 个导电沟道。

从器件设计方面,使用了原创的三维场板结构,并申请了专利。与平面场板相比,三维场板可以把高电场屏蔽在器件的关键结构或易损区域之外,以有效地提升器件的击穿电压。

现在,虽然氮化镓器件性能比硅好很多,但还未达到其极限。那么,氮化镓亦有可能通过更好的材料及器件设计超越氮化镓的材料极限,获得比现在氮化镓器件再好十几倍的性能,进而大幅提升电能转换的效率。多沟道器件技术是为了这一目的而开发的新型技术。它最大的特点是电阻低、损耗小,让它具有更高的能量效率,有望重新定义氮化镓电子器件。

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